Mikrostrukturierung von Gebogenen Flächen durch Uv-Lithographie
WO2019052949
Art A1
21. März 2019
Anmelder: Karlsruher Institut für Technologie 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2019052949
- Aktenzeichen
- EP18778380
- Anmeldetag
- 10. September 2018
- Veröffentlichung
- 21. März 2019
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F7/20G03F7/24
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Karlsruher Institut für Technologie
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Karlsruher Institut für Technologie
Deutsche Universität und Forschungseinrichtung in Karlsruhe, entstanden aus Fusion von Universität und Großforschungszentrum, mit Lehre und Forschung in Natur-, Ingenieur- und Technikwissenschaften.
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