Mikrostrukturierung von Gebogenen Flächen durch Uv-Lithographie

WO2019052949 Art A1 21. März 2019

Anmelder: Karlsruher Institut für Technologie 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019052949
Aktenzeichen
EP18778380
Anmeldetag
10. September 2018
Veröffentlichung
21. März 2019
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/20G03F7/24
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Karlsruher Institut für Technologie
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Karlsruher Institut für Technologie

Deutsche Universität und Forschungseinrichtung in Karlsruhe, entstanden aus Fusion von Universität und Großforschungszentrum, mit Lehre und Forschung in Natur-, Ingenieur- und Technikwissenschaften.

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