Production method for gallium nitride crystal film

WO2019054444 Art A1 21. März 2019

Anmelder: National University Corporation Tokyo University of Agriculture and Technology, Taiyo Nippon Sanso Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019054444
Aktenzeichen: EP18855981
Anmeldetag: 13. September 2018
Veröffentlichung: 21. März 2019
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/34C23C16/448C30B25/16C30B29/38H01L21/205

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: National University Corporation Tokyo University of Agriculture and Technology
Taiyo Nippon Sanso Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Taiyo Nippon Sanso

Taiyo Nippon Sanso ist ein japanischer Hersteller von Industriegasen und zugehörigen Anlagen, Teil der Mitsubishi-Chemical-Gruppe. Der Patentbestand konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Wärme-, Fertigungs- und Werkstofftechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von