Turbulent Flow Spiral Multi-Zone Precursor Vaporizer

WO2019055366 Art A1 21. März 2019

Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019055366
Aktenzeichen: EP18857056
Anmeldetag: 11. September 2018
Veröffentlichung: 21. März 2019
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/448C23C16/455C23C16/50

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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