Wafer temperature control with consideration to beam power input

WO2019055967 Art A1 21. März 2019

Anmelder: Axcelis Technologies, Inc 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019055967
Aktenzeichen: EP18783610
Anmeldetag: 18. September 2018
Veröffentlichung: 21. März 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/20H01L21/265G01K7/22H01J37/302H01J37/317

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Axcelis Technologies, Inc
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Axcelis Technologies

Axcelis Technologies, Inc. ist ein US-amerikanischer Hersteller von Ionenimplantationsanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Beverly, Massachusetts. Das Patentportfolio ist fast vollständig auf Halbleiter und elektrische Bauelemente konzentriert, ergänzt um Oberflächentechnik und Mess- und Prüftechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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