Substrate inspection device, substrate processing device, substrate inspection method, and substrate processing method

WO2019058772 Art A1 28. März 2019

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019058772
Aktenzeichen: EP18857791
Anmeldetag: 31. Juli 2018
Veröffentlichung: 28. März 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/956G01B11/30G06T1/00G06T5/00H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

854 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

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