Anomaly detection device and anomaly detection method

WO2019058893 Art A1 28. März 2019

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019058893
Aktenzeichen: EP18857467
Anmeldetag: 28. August 2018
Veröffentlichung: 28. März 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02H01L21/027H01L21/304H01L21/306G05B23/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

854 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von