Mask blank, transfer mask, and method for manufacturing semiconductor device

WO2019058984 Art A1 28. März 2019

Anmelder: HOYA Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019058984
Aktenzeichen: EP18859667
Anmeldetag: 6. September 2018
Veröffentlichung: 28. März 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/32G01N23/2258G03F1/58

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HOYA Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hoya

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, aktiv in den Bereichen optische Gläser, Halbleiterfotomasken und medizinische Endoskopie- sowie Augenheilkundeprodukte.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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