Vapor deposition apparatus

WO2019059009 Art A1 28. März 2019

Anmelder: National University Corporation Nagoya University, Toyoda Gosei Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019059009
Aktenzeichen: EP18859043
Anmeldetag: 7. September 2018
Veröffentlichung: 28. März 2019
Rechtsraum: WO
IPC: C30B25/14C23C16/455C30B29/38H01L21/31H01L21/205

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: National University Corporation Nagoya University
Toyoda Gosei Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 National University Corporation Nagoya University

Japanische staatliche Universität mit umfangreicher Forschung in Naturwissenschaften, Technik und Medizin, unter anderem bekannt für Arbeiten zu LED-Technologie. Trägerin zahlreicher Patente aus Universitätsforschung in Japan.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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