Native or uncontrolled oxide reduction by a cyclic process of plasma treatment and h* radicals

WO2019060050 Art A1 28. März 2019

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019060050
Aktenzeichen: EP18859387
Anmeldetag: 6. August 2018
Veröffentlichung: 28. März 2019
Rechtsraum: WO
IPC: C04B41/80C12Q1/6869

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Pharma & Biotechnologie

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