Fluorine Detection in A Gas Discharge Light Source

WO2019060164 Art A1 28. März 2019

Anmelder: Cymer, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019060164
Aktenzeichen: EP18859391
Anmeldetag: 10. September 2018
Veröffentlichung: 28. März 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G01N31/00G01N33/00H01S3/223H01S3/225

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cymer, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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