Calibration method of an inspection tool, and lithographic apparatus

WO2019063180 Art A1 4. April 2019

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019063180
Aktenzeichen: EP18758833
Anmeldetag: 9. August 2018
Veröffentlichung: 4. April 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G01N21/93G01N21/956

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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