Etching solution and etching concentrate for multilayer film, and etching method

WO2019064506 Art A1 4. April 2019

Anmelder: Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019064506
Aktenzeichen: EP17927317
Anmeldetag: 29. September 2017
Veröffentlichung: 4. April 2019
Rechtsraum: WO
IPC: C23F1/18C23F1/26H01L21/28H01L21/308

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Panasonic

Japanischer Konzern, der Haushaltsgeräte, Unterhaltungselektronik, Batterien sowie Komponenten und Lösungen für Industrie und Automobilbau entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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