Substrate transport device and substrate carrying unit rotation axis search method

WO2019064890 Art A1 4. April 2019

Anmelder: Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019064890
Aktenzeichen: EP18862444
Anmeldetag: 30. Juli 2018
Veröffentlichung: 4. April 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/677B25J13/08B65G49/07H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kawasaki Heavy Industries

Japanischer Schwerindustriekonzern mit Sitz in Kobe. Kawasaki fertigt Motorräder, Schienenfahrzeuge, Schiffe, Flugzeuge sowie Anlagen für Energie- und Robotertechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verpackungs- & Fördertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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