Fluid supply line and operation analysis system

WO2019065047 Art A1 4. April 2019

Anmelder: Fujikin Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019065047
Aktenzeichen
EP18862457
Anmeldetag
28. August 2018
Veröffentlichung
4. April 2019
Rechtsraum
WO
IPC
G05D7/06F16K37/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Fujikin Incorporated
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujikin

Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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