Pattern-drawing device

WO2019065224 Art A1 4. April 2019

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019065224
Aktenzeichen: EP18863297
Anmeldetag: 11. September 2018
Veröffentlichung: 4. April 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B26/12G02F1/33G02F1/37

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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