Supply apparatus, processing system, and processing method
WO2019065713
Art A1
4. April 2019
Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2019065713
- Aktenzeichen
- EP18860473
- Anmeldetag
- 26. September 2018
- Veröffentlichung
- 4. April 2019
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- B65G27/04B22F3/105B22F3/16B23K26/21B23K26/342B29C31/02B29C64/153B29C64/329B33Y30/00B65G65/40
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Nikon Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
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