Plasma processing device member and plasma processing device
WO2019066033
Art A1
4. April 2019
Anmelder: Kyocera Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2019066033
- Aktenzeichen
- EP18862604
- Anmeldetag
- 28. September 2018
- Veröffentlichung
- 4. April 2019
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/3065C04B35/505H05H1/46
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kyocera Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Kyocera
Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Kyoto. Kyocera fertigt Keramikbauteile, Halbleiterkomponenten, Solarmodule, Druck- und Kopiersysteme sowie Elektronikprodukte für Industrie und Endverbraucher.
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