Systems and methods for metrology beam stabilization
WO2019067331
Art A1
4. April 2019
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2019067331
- Aktenzeichen
- EP18860168
- Anmeldetag
- 24. September 2018
- Veröffentlichung
- 4. April 2019
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N21/88G01B11/27G01N21/21
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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