Surface-shape measuring device, surface-shape measuring method, structural-member manufacturing system, structural member manufacturing method, and surface-shape measuring program

WO2019069926 Art A1 11. April 2019

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019069926
Aktenzeichen
EP18864193
Anmeldetag
2. Oktober 2018
Veröffentlichung
11. April 2019
Rechtsraum
WO
IPC
G01B21/20G01B11/24
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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