Radiofrequency (rf) filter for multi-frequency rf bias

WO2019070673 Art A1 11. April 2019

Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019070673
Aktenzeichen: EP18863934
Anmeldetag: 2. Oktober 2018
Veröffentlichung: 11. April 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01F30/00H01F19/08H01F27/28H03H7/01H01J37/32H01B5/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Lam Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von