Method and system for optically detecting and characterizing defects in semiconductors

WO2019075165 Art A1 18. April 2019

Anmelder: Board Of Regents, The University Of Texas System 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019075165
Aktenzeichen: EP18866755
Anmeldetag: 11. Oktober 2018
Veröffentlichung: 18. April 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/63G01N21/88G01N21/95G01B11/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Board Of Regents, The University Of Texas System
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of Texas System

US-amerikanischer Universitätsverbund mit Sitz in Austin, Texas, bestehend aus mehreren Hochschulen und medizinischen Zentren. Der University of Texas System ist in Forschung zu Medizin, Naturwissenschaften, Ingenieurwesen und Biotechnologie aktiv.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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