Motor, dual stroke stage and lithographic apparatus

WO2019076525 Art A1 25. April 2019

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019076525
Aktenzeichen: EP18768819
Anmeldetag: 5. September 2018
Veröffentlichung: 25. April 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H02K41/03H02K41/035H02P6/00H02K3/28G05B19/416

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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