Method of manufacturing fine pattern and method of manufacturing display device using the same

WO2019076956 Art A1 25. April 2019

Anmelder: Merck Patent GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019076956
Aktenzeichen: EP18792889
Anmeldetag: 17. Oktober 2018
Veröffentlichung: 25. April 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G03F7/40

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Merck Patent GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Merck KGaA

Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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