Methods of fabrication of nano-sensor and nano-sensor array

WO2019077630 Art A1 25. April 2019

Anmelder: Indian Institute of Science 🇮🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019077630
Aktenzeichen: EP18867973
Anmeldetag: 16. Oktober 2018
Veröffentlichung: 25. April 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G01N27/00H01L21/00H01L29/00

Offizieller Volltext

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Anmelder

Firma: Indian Institute of Science
Land: 🇮🇳 Indien

🇮🇳 Indian Institute of Science

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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