Mask material for plasma dicing, mask-integrated surface protection tape, and semiconductor chip manufacturing method

WO2019078153 Art A1 25. April 2019

Anmelder: Furukawa Electric Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019078153
Aktenzeichen: EP18867473
Anmeldetag: 15. Oktober 2018
Veröffentlichung: 25. April 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/301B23K26/351

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Furukawa Electric Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Furukawa Electric

Furukawa Electric ist ein japanischer Hersteller von Glasfaserkabeln, elektronischen Bauteilen und Kupferprodukten für die Telekommunikations- und Automobilindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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