Utilizing Overlay Misregistration Error Estimations in Imaging Overlay Metrology
WO2019078901
Art A1
25. April 2019
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2019078901
- Aktenzeichen
- EP17929359
- Anmeldetag
- 22. Oktober 2017
- Veröffentlichung
- 25. April 2019
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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