Free layer sidewall oxidation and spacer assisted magnetic tunnel junction (mtj) etch for high performance magnetoresistive random access memory (mram) devices

WO2019079553 Art A1 25. April 2019

Anmelder: Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd 🇹🇼

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019079553
Aktenzeichen
EP18799952
Anmeldetag
18. Oktober 2018
Veröffentlichung
25. April 2019
Rechtsraum
WO
IPC
H01L43/08H01L43/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd
Land
🇹🇼 Taiwan
🇹🇼 Taiwan Semiconductor Manufacturing

Taiwan Semiconductor Manufacturing (TSMC) ist der weltweit größte reine Halbleiter-Auftragsfertiger mit Sitz in Hsinchu, Taiwan. Der weit überwiegende Teil des Patentportfolios betrifft Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt um Datenspeicherung und Nachrichtentechnik. Anmeldungen laufen durchgehend von 2000 bis 2022.

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