Liquid metal rotating anode x-ray source for semiconductor metrology

WO2019079630 Art A1 25. April 2019

Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019079630
Aktenzeichen
EP18868392
Anmeldetag
18. Oktober 2018
Veröffentlichung
25. April 2019
Rechtsraum
WO
IPC
H01J35/10G01B15/04G01N23/201H01L21/66
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Kla-Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von

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