Inorganic metallic oxide thin film with composite crystal form and manufacturing method thereof

WO2019080166 Art A1 2. Mai 2019

Anmelder: South China University of Technology 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019080166
Aktenzeichen: EP17930071
Anmeldetag: 8. November 2017
Veröffentlichung: 2. Mai 2019
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/34H01L29/786H01L29/04H01L21/336H01L21/363

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: South China University of Technology
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 South China University of Technology

Chinesische Universität mit Sitz in Guangzhou, die als Anmelderin von Patenten aus ihrer technischen und naturwissenschaftlichen Forschung auftritt. Schwerpunkte liegen unter anderem in Materialwissenschaft und Maschinenbau.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von