Carrier for use in a vacuum chamber, system for testing a transport arrangement in a vacuum chamber, vacuum processing system, and method for testing a transport arrangement in a vacuum chamber

WO2019081010 Art A1 2. Mai 2019

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019081010
Aktenzeichen: EP17798117
Anmeldetag: 25. Oktober 2017
Veröffentlichung: 2. Mai 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/67H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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