Process chamber and method for purging the same

WO2019081549 Art A1 2. Mai 2019

Anmelder: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude, Air Liquide Deutschland GmbH 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019081549
Aktenzeichen: EP18789424
Anmeldetag: 24. Oktober 2018
Veröffentlichung: 2. Mai 2019
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/44H01L21/67B33Y10/00B33Y30/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Air Liquide Deutschland GmbH
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von