Gas purification device, gas purification method, and substrate processing device

WO2019082613 Art A1 2. Mai 2019

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019082613
Aktenzeichen: EP18870376
Anmeldetag: 2. Oktober 2018
Veröffentlichung: 2. Mai 2019
Rechtsraum: WO
IPC: B01D53/42B01D53/18B01D53/40B01D53/75B01D53/78H01L21/306

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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