Pattern drawing device

WO2019082850 Art A1 2. Mai 2019

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019082850
Aktenzeichen: EP18871707
Anmeldetag: 22. Oktober 2018
Veröffentlichung: 2. Mai 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G02B26/10G02B13/00G02B13/18G02B26/12G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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