Stator blade unit for a turbomolecular pump

WO2019086852 Art A1 9. Mai 2019

Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019086852
Aktenzeichen
EP18797079
Anmeldetag
30. Oktober 2018
Veröffentlichung
9. Mai 2019
Rechtsraum
WO
IPC
F04D19/04F04D29/54F04D29/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Limited
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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