Conformal replacement gate electrode for short channel devices
WO2019086983
Art A1
9. Mai 2019
Anmelder: International Business Machines Corporation, Ulvac Inc 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2019086983
- Aktenzeichen
- EP18872636
- Anmeldetag
- 12. Oktober 2018
- Veröffentlichung
- 9. Mai 2019
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/8238
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- International Business Machines Corporation
Ulvac Inc - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
IBM
US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.
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🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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Fachgebiete
Vertreten von
Litherland, David Peter
Winchester, Großbritannien
1.145
Patente gesamt
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Fachgebiete
5
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