Layer transfer of epitaxial layers and thin films obtained by van der waals growth initiation

WO2019087157 Art A1 9. Mai 2019

Anmelder: Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL) 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019087157
Aktenzeichen
EP18816226
Anmeldetag
5. November 2018
Veröffentlichung
9. Mai 2019
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/02H01L21/20H01L21/762
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL)
Land
🇨🇭 Schweiz
🇨🇭 École Polytechnique Fédérale de Lausanne

Schweizer technische Hochschule und Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt auf Ingenieur- und Naturwissenschaften.

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