Substrate

WO2019087436 Art A1 9. Mai 2019

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd., Osaka University 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019087436
Aktenzeichen: EP18874274
Anmeldetag: 26. April 2018
Veröffentlichung: 9. Mai 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G01N27/06

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Osaka University
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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