Vacuum Pump

WO2019087447 Art A1 9. Mai 2019

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019087447
Aktenzeichen: EP18873311
Anmeldetag: 30. Mai 2018
Veröffentlichung: 9. Mai 2019
Rechtsraum: WO
IPC: F04C29/02F04C25/02F16C33/66F16N7/26F16N7/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Maschinenelemente & Fluidtechnik

Vertreten von

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