Vacuum pump and control method for same

WO2019087454 Art A1 9. Mai 2019

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019087454
Aktenzeichen: EP18873889
Anmeldetag: 20. Juni 2018
Veröffentlichung: 9. Mai 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H02P23/14F04C28/08F04C29/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ULVAC, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)

Vertreten von

Kein Vertreter erfasst.

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen