Single Cell Scatterometry Overlay Targets

WO2019089483 Art A1 9. Mai 2019

Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019089483
Aktenzeichen: EP18873030
Anmeldetag: 30. Oktober 2018
Veröffentlichung: 9. Mai 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G01N21/47G01J3/44

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kla-Tencor Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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