Verfahren und Vorrichtung zum Erzeugen eines Dampfes durch die Verwendung von in einem Regelmodus Gewonnenen Steuerdaten

WO2019091804 Art A1 16. Mai 2019

Anmelder: Aixtron SE 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019091804
Aktenzeichen: EP18793662
Anmeldetag: 26. Oktober 2018
Veröffentlichung: 16. Mai 2019
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/448C23C16/52C23C14/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Aixtron SE
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Aixtron

Aixtron ist ein deutscher Hersteller von Depositionsanlagen für die Halbleiterindustrie. Der Patentbestand konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Verfahrens- und Messtechnik. Die Anmeldungen aus 2000 bis 2025 betreffen unter anderem die Reinigung und den Betrieb von CVD-Reaktoren.

303 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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