Vacuum pumping and/or abatement system

WO2019092427 Art A1 16. Mai 2019

Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019092427
Aktenzeichen: EP18804074
Anmeldetag: 8. November 2018
Veröffentlichung: 16. Mai 2019
Rechtsraum: WO
IPC: F04B37/14F04B41/00F04C25/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Edwards Limited
Land: 🇬🇧 Großbritannien

🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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Fachgebiete

Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)

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