Aseptic liquefied gas apparatus and tie-in pipe for aseptic liquefied gas device

WO2019092934 Art A1 16. Mai 2019

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019092934
Aktenzeichen
EP18877074
Anmeldetag
25. Juli 2018
Veröffentlichung
16. Mai 2019
Rechtsraum
WO
IPC
A61L2/20A61L2/02F17C5/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ULVAC, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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