Photosensitive polymer, photoresist composition using same, and pattern forming method
WO2019093766
Art A2
16. Mai 2019
Anmelder: Dongjin Semichem Co., Ltd 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2019093766
- Aktenzeichen
- EP18876477
- Anmeldetag
- 7. November 2018
- Veröffentlichung
- 16. Mai 2019
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F7/038G03F7/004G03F7/26G03F7/20C08F220/04C08F216/08C08F220/26
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Dongjin Semichem Co., Ltd
- Land
- 🇰🇷 Südkorea
🇰🇷
Dongjin Semichem
Der Anmelder ist ein südkoreanischer Hersteller von Chemikalien für die Halbleiter- und Displayindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Klebstoffe, Optik und Kunststofftechnik, insbesondere Fotoresists und Materialien für Dünnschichtprozesse. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
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