Substrate support for processing a substrate, vacuum processing apparatus and substrate processing system

WO2019096425 Art A1 23. Mai 2019

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019096425
Aktenzeichen: EP17804853
Anmeldetag: 20. November 2017
Veröffentlichung: 23. Mai 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/32C23C14/50C23C16/458H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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