Positioning system and method for positioning a stage with respect to a frame

WO2019096536 Art A1 23. Mai 2019

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019096536
Aktenzeichen: EP18788763
Anmeldetag: 18. Oktober 2018
Veröffentlichung: 23. Mai 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H02K41/035

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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