Object stage bearing for lithographic apparatus

WO2019096644 Art A1 23. Mai 2019

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019096644
Aktenzeichen: EP18799762
Anmeldetag: 7. November 2018
Veröffentlichung: 23. Mai 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20F16C32/06F16C33/74

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik

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