Semiconductor element intermediate, composition for forming metal-containing film, method for producing semiconductor element intermediate, and method for producing semiconductor element

WO2019098208 Art A1 23. Mai 2019

Anmelder: Mitsui Chemicals, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019098208
Aktenzeichen
EP18879271
Anmeldetag
13. November 2018
Veröffentlichung
23. Mai 2019
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/3065G03F7/11G03F7/26
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Mitsui Chemicals, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Mitsui Chemicals

Mitsui Chemicals ist ein japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, der Basis- und Spezialchemikalien, Kunststoffe sowie Materialien für Elektronik und Mobilität herstellt. Das Unternehmen ging 1997 aus der Fusion mehrerer Mitsui-Chemieunternehmen hervor.

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