Lithography system bandwidth control
WO2019099179
Art A1
23. Mai 2019
Anmelder: Cymer, LLC 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2019099179
- Aktenzeichen
- EP18878671
- Anmeldetag
- 29. Oktober 2018
- Veröffentlichung
- 23. Mai 2019
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01S3/09
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Cymer, LLC
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Cymer
Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.
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