Enhanced Selective Deposition Process

WO2019099190 Art A1 23. Mai 2019

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019099190
Aktenzeichen
EP18877983
Anmeldetag
31. Oktober 2018
Veröffentlichung
23. Mai 2019
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/02H01L21/67C23C16/455
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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